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手持式四探針測(cè)試儀 硅材料電阻率測(cè)試儀

產(chǎn)品簡介

手持式四探針測(cè)試儀 硅材料電阻率測(cè)試儀RTS-3型手持式四探針測(cè)試儀體積小，精度高，測(cè)量范圍寬，運(yùn)用四探針原理能夠測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻。

產(chǎn)品型號(hào)：SN/RTS-3
更新時(shí)間：2024-10-20
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪問量：592
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手持式四探針測(cè)試儀  硅材料電阻率測(cè)試儀

型號(hào)：SN/RTS-3

RTS-3型手持式四探針測(cè)試儀體積小，精度高，測(cè)量范圍寬，運(yùn)用四探針原理能夠測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻。

  技術(shù)參數(shù)：

  

 測(cè)量范圍

 電阻率：0.01～1999.9Ω.cm；  
 方塊電阻：0.1～19999Ω/□； 

恒流源

 電流量程分為100μA、1mA兩檔，兩檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV；  
 輸入阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1%；  
 顯示：以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰；極性、超量程自動(dòng)顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)

 間距：1±0.01mm；  針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 機(jī)械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

 1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差

(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤5%

外型尺寸

 185mm(長)*90mm(寬)*30mm(高)

重量

 350g

電源

 鋰電池，一次充電可連續(xù)使用100小時(shí)；

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度：23±2℃； 相對(duì)濕度：≤65%； 無高頻干擾； 無強(qiáng)光直射

  適用場(chǎng)所：

   本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。

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