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產(chǎn)品中心

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小流量氣體質(zhì)量流量傳感器 流量傳感器北京供應(yīng)

產(chǎn)品簡介

小流量氣體質(zhì)量流量傳感器 流量傳感器北京供應(yīng)

FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

產(chǎn)品型號：TL/FS4001
更新時間：2024-10-21
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪問量：2804
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小流量氣體質(zhì)量流量傳感器  流量傳感器

型號：TL/FS4001

 

FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

產(chǎn)品特點：

- 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳
- 感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應(yīng)時間快

主要參數(shù)：

 

性能參數(shù)FS4001單位
通 徑1.01.8mm
zui大流量30, 100, 200500, 1000SCCM
量程比≥100:1 
精 度±(1.5+0.2FS)%
重復(fù)性0.25%讀數(shù)
零點輸出飄移±30mV
輸出飄移±0.12%/oC
響應(yīng)時間4, 8, 16, 33 , 65 , 131mses
工作電源8~18Vdc,50mA 
輸出方式線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc 
zui大流量壓損350300pa
zui大工作壓力0.5MPa
工作溫度-10 ~ +55oC
存儲溫度-20 ~ +65oC
工作濕度<95%RH（無結(jié)冰、無凝露） 
機械接口可拆式軟管接頭 
校準方式空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa 
重量15g

 

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